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特氣柜主要用要供應(yīng)特種氣體，如易燃，易爆，劇毒等，主要用于半導(dǎo)體和LED的新興行業(yè)。
本實(shí)用新型涉及一種氣體的供氣裝置，特別涉及一種應(yīng)用在半導(dǎo)體、微電 子、光電等行業(yè)內(nèi)工藝制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蝕性等特種 氣體最合適的鋼瓶儲存、安全穩(wěn)定供氣的特氣柜。
背景技術(shù)：
科技在不斷前進(jìn)，技術(shù)不斷革新，因此半導(dǎo)體和新能源產(chǎn)業(yè)也隨之蓬勃發(fā) 展，作為工業(yè)的血脈氣體，得到了更廣泛的利用。
氣體由于其本身的物理和化學(xué)性質(zhì)，決定了其在工業(yè)中被廣泛利用同時，
也伴隨了很高的危險性；氣體有毒性的，腐蝕性的，可燃性的，其無論是哪 一種都會對人造成致命的危害，因此對于氣體鋼瓶的儲存、使用及輸送便提 出了很高的要求.對于氣體的使用不僅是在安全的可靠性，還有就是對于輸 送到工藝設(shè)備時怎樣滿足工藝的要求。
因此特別需要一種符合上述要求的特氣柜。
◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）
◆按操作方式分類：手動、半自動。
◆氣路配件，接頭、閥門等全部是進(jìn)口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。
◆氣路設(shè)計(jì)合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負(fù)壓檢測 。
◆氣瓶柜箱體采用安全設(shè)計(jì)，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價廉，可按照客戶要求定制。
◆完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）報警信號被觸發(fā)時，自動切斷。
特氣柜主要應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業(yè)
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